氮化爐充入氮氣的作用,PECVD過程中充入氮氣的作用是什么?
很多人在購買工業爐和干燥設備時都很關心氮化爐充入氮氣的作用,PECVD過程中充入氮氣的作用是什么? 的問題,畢竟多數為定制產品,所以了解的越多,就越容易定制符合自己企業生產需要的設備,下面小編就針對氮化爐充入氮氣的作用,PECVD過程中充入氮氣的作用是什么? 這一問題整理了些答案,供大家參考:
N2維持關內氣流的穩定,工藝結束可以把SiH4,NH3擠出去。非反應氣體
N2 一般是填充氣 用于清除爐管里的硅烷和氨氣. 以及改變爐管內的壓強 調整工作狀態 開啟爐門等
N2不是反應氣體
形成si3n4鈍化層
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